Влияние быстрой термической обработки на микроструктуру и свойства слоев силицидов Pt-Ni
Another Title
Effect of rapid heat treatment on the microstructure and properties of Pt-Ni silicide layers
Bibliographic entry
Влияние быстрой термической обработки на микроструктуру и свойства слоев силицидов Pt-Ni = Effect of rapid heat treatment on the microstructure and properties of Pt-Ni silicide layers / В. А. Лапицкая, А. А. Насевич, М. И. Довгаль [и др.] // Приборостроение-2024 : материалы 17-й Международной научно-технической конференции, 26-29 ноября 2024 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (пред.), О. К. Гусев, Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : Интегралполиграф, 2024. – С. 403-404.
Abstract
Объектом исследования является покрытие Pt-Ni, полученное магнетронным распылением и подвергшееся быстрой термической обработке, а также исследование его. В результате исследования было установлено, что шероховатость поверхности увеличивается с увеличением температуры от 350 до 450 ?, размер зерен и удельная поверхностная энергия так же увеличиваются.
Abstract in another language
The object of the study is a Pt-Ni coating obtained by magnetron sputtering and subjected to rapid heat treatment and study of microstructures. As a result of the study, it was found that the surface roughness increases with a change in temperature from 350 to 450 ?, the grain size and specific surface energy also change.