Компьютерный анализ чувствительных элементов газовых микросистем
Another Title
Computer analysis of sensitive elements of gas microsystems
Bibliographic entry
Антонов, М. С. Компьютерный анализ чувствительных элементов газовых микросистем = Computer analysis of sensitive elements of gas microsystems / М. С. Антонов, О. Г. Реутская // Приборостроение-2024 : материалы 17-й Международной научно-технической конференции, 26-29 ноября 2024 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (пред.), О. К. Гусев, Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : Интегралполиграф, 2024. – С. 391-393.
Abstract
Компьютерное моделирование и анализ полученых результатов позволяет учитывать особенности при изготовлении чувствительных элементов газовых микросистем с применением микроэлектроных технологий. В результате конечно-элементного моделирования в программе ANSYS 2023 было определено влияния температуры на распределение тепловых полей, деформации и механических напряжений в положках пористого оксида алюминия. Установлены зависимости деформации и механических напряжений от температуры.
Abstract in another language
Computer modeling and analysis of the obtained results allows taking into account the features in the manufacture of sensitive elements of gas microsystems using microelectronic technologies. As a result of finite element modeling in the ANSYS 2023 program, the influence of temperature on the distribution of thermal fields, deformation and mechanical stresses in porous aluminum oxide substrates was determined. Dependences of deformation and mechanical stresses on temperature were established.