Оптические характеристики фторуглеродных покрытий, полученных ионно-лучевым распылением различных мишеней
Another Title
Optical characteristics of fluorocarbon coatings obtained by ion beam sputtering of various targets
Bibliographic entry
Телеш, Е. В. Оптические характеристики фторуглеродных покрытий, полученных ионно-лучевым распылением различных мишеней = Optical characteristics of fluorocarbon coatings obtained by ion beam sputtering of various targets / Е. В. Телеш, Н. В. Сафронов, Е. В. Шевчик // Приборостроение-2024 : материалы 17-й Международной научно-технической конференции, 26-29 ноября 2024 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (пред.), О. К. Гусев, Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : Интегралполиграф, 2024. – С. 276-278.
Abstract
Исследовано влияние материала мишени на основные оптические характеристики свойства фторуглеродных покрытий, полученных ионно-лучевым распылением. Установлено, что покрытия, полученные распылением мишени из политетрафторэтилена, обладали более высокой прозрачностью, шири-ной запрещенной зоны и низким коэффициентом преломления.
Abstract in another language
The influence of the target material on the main optical characteristics of the properties of fluorocarbon coatings obtained by ion-beam sputtering has been studied. It was found that coatings obtained by sputtering a polytetrafluoroethylene target had higher transparency, a wider band gap, and a low refractive index.