Выявление скрытых механических дефектов алюминиевых подложек методом сканирующего зонда Кельвина

Выявление скрытых механических дефектов алюминиевых подложек методом сканирующего зонда Кельвина = Detecting hidden mechanical defects of aluminum substrates with a scanning Кelvin probe / А. И. Свистун, А. Л. Жарин, А. К. Тявловский [и др.] // Приборостроение-2024 : материалы 17-й Международной научно-технической конференции, 26-29 ноября 2024 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (пред.), О. К. Гусев, Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : Интегралполиграф, 2024. – С. 90-91.

Abstract

Объектом исследования являлись алюминиевые подложки для создания сенсорных устройств на основе анодного оксида алюминия, прошедшие механическую обработку в виде шлифовки и рихтовки. Предметом исследования – выявление остаточных механических напряжений и иных дефектов поверхности для оценки качества данной обработки методом сканирующего зонда Кельвина. Показано, что данный метод позволяет эффективно выявлять остаточные пластические деформации алюминиевых подложек, являющиеся следствием их механической обработки с разрешением, достаточным для выявления механических напряжений, связанных с отдельными шероховатостями.

Abstract in another language

The object of the study was aluminum substrates for creating sensor devices based on anodic aluminum oxide, which underwent mechanical processing in the form of grinding and straightening. The subject of the study was the detection of residual mechanical stresses and other surface defects to assess the quality of this processing using the scanning Kelvin probe technique. The technique applied allows for the effective detection of residual plastic deformations of aluminum substrates resulting from their mechanical processing with a resolution sufficient to detect mechanical stresses associated with individual roughnesses.