Влияние атомов благородных газов на энергетический спектр дефектов в полупроводниках
Bibliographic entry
Жевно, А. Н. Влияние атомов благородных газов на энергетический спектр дефектов в полупроводниках / А. Н. Жевно, В. В. Сидорик, В. Д. Ткачев // Физика и техника полупроводников. – 1981. – Т. 15, № 1. – С. 161-164.
Abstract
В данной работе исследована электронная структура комплекса атома благородного газа (Не, Ne, Ar, Kr) с дивакансией в кристалле кремния (рис. 1). При расчете учитывалось 24 атома кремния двух ближайших координационных сфер дивакансии.