Белорусский национальный технический университет
Repository of the Belarusian National Technical University
ISSN: 2310-7405
Repository of the Belarusian National Technical University
View Item 
  •   Repository BNTU
  • Отчеты о НИОКТР
  • Отчеты о НИОКТР
  • View Item
  •   Repository BNTU
  • Отчеты о НИОКТР
  • Отчеты о НИОКТР
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Исследование и разработка методов создания сенсорных нано-микроэлектронных структур и элементов, электронных модулей и устройств для диагностических и измерительных систем

Authors
Колешко, В. М.
Шевченок, А. А.
Гулай, В. А.
Полынкова, Е. В.
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-supervisor
Гулай, А. В.
Date
2020
Another Title
Отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20191012
Bibliographic entry
Исследование и разработка методов создания сенсорных нано-микроэлектронных структур и элементов, электронных модулей и устройств для диагностических и измерительных систем [Электронный ресурс] : отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20191012 / Белорусский национальный технический университет ; рук. А. В. Гулай ; исполн.: В. М. Колешко [и др.]. – Минск : [б. и.], 2020.
Abstract
Объектом исследования являются оптические и электрофизические параметры тонких диэлектрических пленок оксида циркония, нитрида алюминия, оксида цинка и феррита висмута с легирующими добавками, а также характеристики МДП-структур на их основе. Цель работы – исследование процессов получения и электрофизических свойств тонких диэлектрических пленок, а также характеристик МДП-структур на их основе. Проведены исследования процессов получения сенсорных МДП-структур на основе использования тонких диэлектрических пленок оксида циркония, нитрида алюминия, оксида цинка и феррита висмута. Исследованы оптические и электрофизические параметры тонкопленочных структур в зависимости от состава распыляемых мишеней, условий их прессования, режимов вакуумного распыления. Определены особенности механизмов переноса заряда в сенсорных МДП-структурах при изменении толщины диэлектрических пленок и концентрации легирующих добавок. В качестве легирующих добавок рассматривались, в частности, соединения редкоземельных элементов (их оксиды и фториды); выполнено ab-initio моделирование электронных свойств оксида иттрия.
URI
https://rep.bntu.by/handle/data/149754
View/Open
Полный текст (2.726Mb)
Collections
  • Отчеты о НИОКТР[1078]
Show full item record
CORE Recommender

Belarusian National Technical University | Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
Яндекс.МетрикаIP Geolocation by DB-IP
Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
 

Browse

All of Repository BNTUCommunities & CollectionsAuthorsTitlesBy Issue DatePublisherBy Submit DateTypeThis CollectionAuthorsTitlesBy Issue DatePublisherBy Submit DateType

My Account

LoginRegister

Belarusian National Technical University | Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
Яндекс.МетрикаIP Geolocation by DB-IP
Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us