Исследование и разработка методов создания сенсорных нано-микроэлектронных структур и элементов, электронных модулей и устройств для диагностических и измерительных систем

Abstract

Объектом исследования являются оптические и электрофизические параметры тонких диэлектрических пленок оксида циркония, нитрида алюминия, оксида цинка и феррита висмута с легирующими добавками, а также характеристики МДП-структур на их основе. Цель работы – исследование процессов получения и электрофизических свойств тонких диэлектрических пленок, а также характеристик МДП-структур на их основе. Проведены исследования процессов получения сенсорных МДП-структур на основе использования тонких диэлектрических пленок оксида циркония, нитрида алюминия, оксида цинка и феррита висмута. Исследованы оптические и электрофизические параметры тонкопленочных структур в зависимости от состава распыляемых мишеней, условий их прессования, режимов вакуумного распыления. Определены особенности механизмов переноса заряда в сенсорных МДП-структурах при изменении толщины диэлектрических пленок и концентрации легирующих добавок. В качестве легирующих добавок рассматривались, в частности, соединения редкоземельных элементов (их оксиды и фториды); выполнено ab-initio моделирование электронных свойств оксида иттрия.