Разработка методов неразрушающего контроля дефектов композитных структур элементов микросенсорных устройств на диэлектрической основе средствами зондовой электрометрии

Abstract

Объектом исследования являлись методы и средства неразрушающего контроля дефектов композитных структур элементов микросенсорных устройств на диэлектрической основе, базирующиеся на методах зондовой электрометрии. Целью исследования являлась разработка методических основ неразрушающего контроля элементов микросенсорных устройств из новых композитных материалов средствами зондовой электрометрии, обеспечивающими бесконтактные неразрушающие измерения пространственного распределения электрофизических свойств тонких проводящих и/или полупроводниковых покрытий на диэлектрической подложке. В результате проведенных исследований разработаны физико-математические модели формирования и пространственного распределения электростатического потенциала поверхности композитных структур элементов микросенсорных устройств. Установлены закономерности формирования сигнала сканирующего электрометрического зонда при исследовании диэлектрических подложек и композитных структур, включая структуры с наноструктурированным пористым анодным оксидом алюминия. Разработаны основные операции методики неразрушающего контроля композитных структур и конструкция зондового электрометрического преобразователя, реализующего эту методику.