Формирование нанокристаллического слоя диоксида олова на кремнии с использованием лазерно-плазменного нанесения пленки металла с последующим двухстадийным отжигом
Bibliographic entry
Роговая, И. С. Формирование нанокристаллического слоя диоксида олова на кремнии с использованием лазерно-плазменного нанесения пленки металла с последующим двухстадийным отжигом / И. С. Роговая, О. В. Мильчанин, Ф. Ф. Комаров // Новые направления развития приборостроения : материалы 17-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 17-19 апреля 2024 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2024. – С. 173-174.