Белорусский национальный технический университет
Repository of the Belarusian National Technical University
ISSN: 2310-7405
Repository of the Belarusian National Technical University
View Item 
  •   Repository BNTU
  • Материалы конференций и семинаров
  • Международные и республиканские конференции
  • Новые горизонты
  • 2023
  • Том 1
  • Материалы конференции по статьям
  • View Item
  •   Repository BNTU
  • Материалы конференций и семинаров
  • Международные и республиканские конференции
  • Новые горизонты
  • 2023
  • Том 1
  • Материалы конференции по статьям
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Технологические приемы создания интерпозеров на основе однослойных и двухслойных Al2O3-пластин с имплантированной системой алюминиевых переходных элементов

Thumbnail
Authors
Шиманович, Д. Л.
Date
2023
Publisher
БНТУ
Bibliographic entry
Шиманович, Д. Л. Технологические приемы создания интерпозеров на основе однослойных и двухслойных Al2O3-пластин с имплантированной системой алюминиевых переходных элементов / Д. Л. Шиманович // Новые горизонты - 2023 : сборник материалов X Белорусско-Китайского молодежного инновационного форума, 9-10 ноября 2023 года / Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2023. – Т. 1. – С. 38-39.
Abstract
The technological methods and regimes of interposers formation based on single-layer and double-layer membrane alumina plates with a system of aluminum passive elements, conductive interconnections and through transition elements built inside the dielectric body, obtained by local one-sided and two-sided through thickness anodizing using additional bipolar anodizing, were studied and optimized. Single-layer and double-layer interposers with dimensions of 12×12 mm and 10×10 mm, respectively, were fabricated. It was shown that the thickness of Al2O3 interposers can be changed from ~30 to ~100 μm in terms of design and technology. It was demonstrated that the thickness of implanted Al conductors can be from ~5 to ~100 μm, and different depths of their location inside Al2O3 membrane plates are possible.
URI
https://rep.bntu.by/handle/data/139768
View/Open
38-39.pdf (433.5Kb)
Collections
  • Материалы конференции по статьям[82]
Show full item record
CORE Recommender

Belarusian National Technical University | Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
Яндекс.МетрикаIP Geolocation by DB-IP
Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
 

Browse

All of Repository BNTUCommunities & CollectionsAuthorsTitlesBy Issue DatePublisherBy Submit DateTypeThis CollectionAuthorsTitlesBy Issue DatePublisherBy Submit DateType

My Account

LoginRegister

Belarusian National Technical University | Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
Яндекс.МетрикаIP Geolocation by DB-IP
Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us