Особенности технологии изготовления GaN-приборов
Another Title
Features of the manufacturing technology of GaN devices
Bibliographic entry
Литвинова, А. В. Особенности технологии изготовления GaN-приборов = Features of the manufacturing technology of GaN devices / А. В. Литвинова, С. А. Ефименко // Приборостроение-2023 : материалы 16-й Международной научно-технической конференции, 15-17 ноября 2023 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 425-426.
Abstract
Сегодня приборы на основе нитрида галлия находят широкое применение в силовой электронике. Рассмотрены базовые технологические процессы создания приборов на основе GaN: начиная с эпитаксии и заканчивая сборкой.
Abstract in another language
Today, devices based on gallium nitride are widely used in power electronics. The basic technological processes of creating devices based on GaN are considered: starting with epitaxy and ending with assembly.