Двухсенсорная газовая микросистема на наноструктурированной платформе для мониторинга окружающей среды
Loading...
Files
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Dual-sensory gas microsystem on nanostructured platform for environmental monitoring
Abstract
Представлены результаты исследований исследований электрофизических свойств и функциональных характеристик микросенсоров с металлоксидными газочувствительными слоями, изготовленных на подложках из нанопористого анодного оксида алюминия и тонких мембранах. Представленные результаты показали реальную перспективность изготовления маломощных тонкопленочных микросистем на нанопористых профилированных подложках для газоанализа, состоящих из нескольких микромощных сенсоров, которые обеспечивают регистрацию низких концентраций нескольких горючих или токсичных газов.
item.page.description-other
The results of the electrical properties and functional characteristics studies of microsensors with metal oxide gas-sensitive layers manufactured on nanoporous alumina substrates and thin membranes are presented. The obtained results showed the real promise of low-power thin-film microsystems manufacturing on nano-porous profiled substrates for gas analysis, consisting of several micro-power sensors that provide registration of low concentrations of several flammable or toxic gases.
Description
Citation
Двухсенсорная газовая микросистема на наноструктурированной платформе для мониторинга окружающей среды = Dual-sensory gas microsystem on nanostructured platform for environmental monitoring / И. А. Таратын [и др.] // Приборостроение-2023 : материалы 16-й Международной научно-технической конференции, 15-17 ноября 2023 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 421-422.