Мэмс-датчики давления
Another Title
Pressure sensors
Bibliographic entry
Люцко, К. С. Мэмс-датчики давления = Pressure sensors / К. С. Люцко, Д. Н. Гайкевич // Приборостроение-2023 : материалы 16-й Международной научно-технической конференции, 15-17 ноября 2023 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 408-409.
Abstract
МЭМС-датчики давления широко применяются в автомобильной, аэрокосмической промышленности и медицине. В работе рассмотрены основные преимущества, разновидности и перспективы развития рассмотренной технологии.
Abstract in another language
MEMS pressure sensors are widely used in automotive, aerospace industry and medicine. The paper considers the main advantages, varieties and prospects of development of the considered technology.