Формирование фторуглеродных защитных оптических покрытий
Another Title
Formation of fluorocarbon protective optical coatings
Bibliographic entry
Телеш, Е. В. Формирование фторуглеродных защитных оптических покрытий = Formation of fluorocarbon protective optical coatings / Е. В. Телеш, Е. В. Шевчик, А. Н. Потылкин // Приборостроение-2023 : материалы 16-й Международной научно-технической конференции, 15-17 ноября 2023 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 280-281.
Abstract
Исследовано влияние технологических режимов на свойства фторуглеродных защитных оптических покрытий, полученных ионно-лучевым распылением составной мишени из политетрафторэтилена и графита. В результате проведенных исследований определены оптимальные условия для формирования покрытий с оптической прозрачностью до 96 % , микротвердостью до 484 НК, низким коэффициентом трения, углом смачивания до 107 градусов и высокой адгезией к стеклу.
Abstract in another language
The influence of technological regimes on the properties of fluorocarbon protective optical coatings obtained by ion-beam sputtering of a composite target of polytetrafluoroethylene and graphite has been studied. As a result of the research, optimal conditions were determined for the formation of coatings with optical transparency up to 96 %, micro-hardness up to 484 НK, low coefficient of friction, contact angle up to 107 degrees and high adhesion to glass.