Browsing Материалы конференции по статьям by Author "Трухан, Р. Э."
Now showing items 1-1 of 1
-
Структура и физико-механические свойства пленок Ni-Pt-V на кремнии после быстрой термической обработки
Трухан, Р. Э.; Лапицкая, В. А.; Хабарова, А. В.; Соловьёв, Я. А.; Чижик, С. А. (БНТУ, 2023)Методами атомно-силовой микроскопии и наноиндентирования исследованы морфология и физико-механические свойства пленок Ni-Pt-V толщиной 40 нм на кремнии после воздействия быстрой термической обработки (БТО). Структура поврехности пленки после 350 °С состоит из зерен размером 11,81–17,77 нм, образующих конгломераты. Размер конгломератов уменьшается при увеличении темпера- туры БТО, ...2023-12-21