Тонкопленочные композиционные материалы содержащие наночастицы полупроводников и металлов
Bibliographic entry
Марван, Ф. С. Х. Аль-Камали Тонкопленочные композиционные материалы содержащие наночастицы полупроводников и металлов / Ф. С. Х. Аль-Камали Марван // Беларусь-Китай: контуры инновационно-технологического сотрудничества : сборник материалов научно-практической конференции (Минск, 19-20 октября 2023 г.) // Республиканское инновационное унитарное предприятие «Научно-технологический парк БНТУ «Политехник» ; сост. М. А. Войтешонок. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 97-99.
Abstract
The sol-gel method of SiO2:CuO target formation is developed. The results of investigation of features of obtaining targets on the basis of aerosil A-380 copper salts are presented. The data on the structure and morphology of high-silica films obtained by ion-beam sputtering in vacuum of targets on the polished surface of silicon substrate are presented. The fields of application of the obtained thin films are determined.