Исследование процессов реактивного распыления тантал-алюминиевой составной мишени методом оптической эмиссионной спектроскопии
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-advisor
Date
2023Publisher
Bibliographic entry
Доан, Тхе Хоанг. Исследование процессов реактивного распыления тантал-алюминиевой составной мишени методом оптической эмиссионной спектроскопии / Тхе Хоанг Доан, Ван Ту Ань Нгуен, Динь Ньат Хань Чан ; науч. рук. Д. А. Голосов // Интеллектуальные, сенсорные и мехатронные системы-2023 [Электронный ресурс] : сборник научных трудов (по материалам студенческих научно-технических конференций) / Белорусский национальный технический университет, Кафедра «Интеллектуальные и мехатронные системы» ; редкол.: В. М. Зайцев, В. А. Гулай, А. В. Дубовик ; сост. Е. А. Богданова. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 20-24.