Лазерные технологии в микро- и наноэлектронике
Bibliographic entry
Роман, А. Н. Лазерные технологии в микро- и наноэлектронике / А. Н. Роман, Е. Н. Щербакова // Новые направления развития приборостроения : материалы 16-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, Минск, 19-21 апреля 2023 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 158-159.