Формирование на основе системы Ni/Pt/Si силовых диодов Шоттки методами быстрого термического отжига
Bibliographic entry
Формирование на основе системы Ni/Pt/Si силовых диодов Шоттки методами быстрого термического отжига / М. И. Маркевич [и др.] // Научные основы использования информационных технологий нового уровня и современные проблемы автоматизации : сборник трудов I Международной научной конференции, 25-26 апреля 2022 года / Ташкентский государственный технический университет имени Ислама Каримова ; Белорусский национальный технический университет ; Белорусско-узбекский совместный межотраслевой институт прикладных технических квалификаций в городе Ташкент ; Научно-исследовательский институт физики полупроводников и микроэлектроники при национальном университете Узбекистана имени Мирзо Улугбека ; ред. А. М. Хусейнов. – Ташкент : Университет, 2022. – С. 356-358.