Способы снижения уровня паров воды в подкорпусном объеме ИС
Another Title
Measuring of the water content in integrated circuit package by using MKM-1 analyzer
Bibliographic entry
Ширяева, В. Д. Способы снижения уровня паров воды в подкорпусном объеме ИС = Measuring of the water content in integrated circuit package by using MKM-1 analyzer / В. Д. Ширяева, Е. Н. Щербакова // Приборостроение-2022 : материалы 15-й Международной научно-технической конференции, 16-18 ноября 2022 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 431-433.
Abstract
Представлены результаты исследования содержания воды в корпусах интегральных схем 401.14-5М и 4153.20 при различных способах отжига. Исследования производились с использованием масс-спектрометрического комплекса МКМ-1.
Abstract in another language
The results of the study of the water content in the housings of the integrated circuits 401.14-5М and 4153.20 under different annealing methods are presented. The studies were carried out using the mass spectrometric complex MKM-1.