Программно-аппаратное обеспечение систем многокоординатных перемещений

Кузнецов, В. В.; Марко, А. Ф.; Карпович, С. Е.

Authors

Кузнецов, В. В.

Марко, А. Ф.

Карпович, С. Е.

Date

2022

Publisher

БНТУ

Another Title

Software and hardware for multi-axis moving systems

Bibliographic entry

Кузнецов, В. В. Программно-аппаратное обеспечение систем многокоординатных перемещений = Software and hardware for multi-axis moving systems / В. В. Кузнецов, А. Ф. Марко, С. Е. Карпович // Приборостроение-2022 : материалы 15-й Международной научно-технической конференции, 16-18 ноября 2022 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 320-322.

Abstract

Рассмотрено программно-аппаратное обеспечение для мехатронных систем перемещений, которое позволяет реализовать сквозную платформу автоматизации при выполнении технологических операций в микроэлектронике.

Abstract in another language

The hardware and software for mechatronic moving systems is considered, which allows implementing an end-to-end automation platform when performing technological operations in microelectronics.