Исследование влияния конструктивных характеристик плазменной камеры на режимы возбуждения СВЧ разряда
Another Title
Investigation of the influence of the plasma chamber design characteristics on the mw discharge excitation modes
Bibliographic entry
Лушакова, М. С. Исследование влияния конструктивных характеристик плазменной камеры на режимы возбуждения СВЧ разряда = Investigation of the influence of the plasma chamber design characteristics on the mw discharge excitation modes / М. С. Лушакова, О. И. Тихон, С. И. Мадвейко // Приборостроение-2022 : материалы 15-й Международной научно-технической конференции, 16-18 ноября 2022 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 287-289.
Abstract
Представлены исследования влияния конструктивного исполнения, местоположения и расстояния между торцевыми поверхностями плазменной камеры на условия возбуждения самостоятельного СВЧ разряда.
Abstract in another language
The paper presents studies of the influence of the design, location and distance between the end surfaces of the plasma chamber on the conditions for excitation of a self-sustained microwave discharge.