Проблемы контактного взаимодействия в микромеханике
Another Title
Problems of contact interaction in micromechanics
Bibliographic entry
Чижик, С. А. Проблемы контактного взаимодействия в микромеханике = Problems of contact interaction in micromechanics / С. А. Чижик, В. В. Чикунов, В. А. Лапицкая // Приборостроение-2022 : материалы 15-й Международной научно-технической конференции, 16-18 ноября 2022 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 9.
Abstract
В работе представлены диагностическое оборудование и оригинальные методики для количественной оценки данных факторов с использованием метода сканирующей зондовой микроскопии. Рассмотрены примеры использования предложенных подходов.
Abstract in another language
The paper presents diagnostic equipment and original methods for the quantitative assessment of these factors using the method of scanning probe microscopy. Examples of using the proposed approaches are considered. Key words: micromechanics, contact, microelectromechanical systems, scanning probe microscopy.