Browsing Материалы конференции по статьям by Author "Ширяева, В. Д."
Now showing items 1-1 of 1
-
Способы снижения уровня паров воды в подкорпусном объеме ИС
Ширяева, В. Д.; Щербакова, Е. Н. (БНТУ, 2022)Представлены результаты исследования содержания воды в корпусах интегральных схем 401.14-5М и 4153.20 при различных способах отжига. Исследования производились с использованием масс-спектрометрического комплекса МКМ-1.2022-12-28