Browsing Материалы конференции по статьям by Author "Романов, И. А."

Now showing items 1-1 of 1

    • Влияние верхнего оксидного слоя в оптических микрорезонаторах на основе нитрида кремния 

      Пархоменко, И. Н.; Власукова, Л. А.; Комаров, Ф. Ф.; Романов, И. А.; Альжанова, А. Е.; Демидович, С. А.; Ковальчук, Н. С. (БНТУ, 2022)
      Структуры SiNx/SiOx и SiOx/SiNx/SiOx были изготовлены на кремниевых подложках методами химического осаждения (PECVD, LPCVD). Показано, что верхний слой оксида кремния защищает нижележащий нитридный слой от непреднамеренного окисления во время быстрого термического отжига в инертной среде (1100 °C, 3 мин). Кроме того, верхний слой оксида кремния увеличивает выход фотолюминесценции ...
      2022-12-28