Browsing Материалы конференции по статьям by Author "Константинов, С. В."
Now showing items 1-1 of 1
-
Свойства наноструктурированных нитридных покрытий TiAlCuN для микромеханических приборов
Константинов, С. В.; Комаров, Ф. Ф.; Чижов, И. В.; Зайков, В. А. (БНТУ, 2022)Сформированы нитридные покрытия TiAlCuN на подложках из монокристаллического кремния (100) и титана марки ВТ1-0 магнетронным методом. Проведены исследования элементного состава, структуры и механических свойств полученных покрытий. Установлено, что уменьшение степени реактивности α от значения α = 0,60 до величины α = 0,47 приводит к увеличению скорости осаждения покры- тия TiAlCuN ...2022-12-28