Выполнен сравнительный анализ эффективности использования МЭМС-микрофонов и контактных пьезоэлектрических датчиков для определения собственных частот колебаний кольцевых концентраторов ультразвука интегральным методом свободных колебаний. На основе результатов экспериментальных исследований установлено, что недостатком МЭМС-микрофонов является сравнительно низкая чувствительность ...