Сформированы нитридные покрытия TiAlCuN на подложках из монокристаллического кремния (100) и титана марки ВТ1-0 магнетронным методом. Проведены исследования элементного состава, структуры и механических свойств полученных покрытий. Установлено, что уменьшение степени реактивности α от значения α = 0,60 до величины α = 0,47 приводит к увеличению скорости осаждения покры- тия TiAlCuN ...