Ионный источник для низкоэнергетичной имплантации с изменяющимся выходным свечением

dc.contributor.author	Терещук, О. И.
dc.contributor.author	Комаровская, В. М.
dc.contributor.author	Гладкий, В. Ю.
dc.coverage.spatial	Минск	ru
dc.date.accessioned	2022-11-15T09:25:21Z
dc.date.available	2022-11-15T09:25:21Z
dc.date.issued	2015
dc.identifier.citation	Терещук, О. И. Ионный источник для низкоэнергетичной имплантации с изменяющимся выходным свечением / О. И. Терещук, В. М. Комаровская, В. Ю. Гладкий // Инженер-механик. – 2015. – № 4. – С. 13-16.	ru
dc.identifier.uri	https://rep.bntu.by/handle/data/122525
dc.language.iso	ru	ru
dc.title	Ионный источник для низкоэнергетичной имплантации с изменяющимся выходным свечением	ru
dc.type	Article	ru