Ионный источник для низкоэнергетичной имплантации с изменяющимся выходным свечением
Bibliographic entry
Терещук, О. И. Ионный источник для низкоэнергетичной имплантации с изменяющимся выходным свечением / О. И. Терещук, В. М. Комаровская, В. Ю. Гладкий // Инженер-механик. – 2015. – № 4. – С. 13-16.
View/ Open
Collections
- По статьям[10]