Комплексный подход к решению технологической задачи получения катодов-мишеней из силицидов переходных металлов для вакуумных ионно-плазменных источников
Another Title
An integrated approach to solving the technological problem of obtaining target cathodes from transition metal silicides for vacuum ion-plasma sources
Bibliographic entry
Иванов, И. А. Комплексный подход к решению технологической задачи получения катодов-мишеней из силицидов переходных металлов для вакуумных ионно-плазменных источников = An integrated approach to solving the technological problem of obtaining target cathodes from transition metal silicides for vacuum ion-plasma sources / И. А. Иванов [и др.] // Литье и металлургия. – 2022. – № 3. – С. 83-90.
Abstract
В статье обсуждаются технологические принципы совершенствования процесса изготовления расходуемых катодов-мишеней вакуумных электродуговых испарительных установок из комплексных силицидов, в основу которых положены подбор химического состава, согласно анализу диаграмм состояния двойных и тройных систем, получение быстроохлажденных слитков с использованием высокоскоростной индукционной плавки, последующее измельчение и размол до порошка требуемой фракции, статическое либо динамическое прессование заготовки катода, ее спекание и припайка токовода. Представлены результаты лабораторных исследований процесса и получены опытные образцы изделий.
Abstract in another language
The article discusses the technological principles of improving the manufacturing process of consumable cathodes-targets of vacuum electric arc evaporation plants from complex silicides. Which are based on: the selection of chemical composition based on the analysis of state diagrams of double and triple systems, the production of fast-cooled ingots using high-speed induction melting, subsequent grinding and grinding to a powder of the required fraction, static or dynamic pressing of the cathode blank, its sintering and soldering of the current guide. The results of laboratory studies of the process are presented and prototypes of products are obtained.
View/
Collections
- № 3[20]