Формирование плёнок SiO2 ионно-лучевым распылением кварцевой мишени
Bibliographic entry
Кузьмин, А. С. Формирование плёнок SiO2 ионно-лучевым распылением кварцевой мишени / А. С. Кузьмин, Е. В. Телеш // Новые направления развития приборостроения : материалы 2-й Международной студенческой научно-технической конференции (22-24 апреля 2009 г.) / редкол.: В. Л. Соломахо [и др.]. – Минск : БНТУ, 2009. – С. 170.