Исследование тонкопленочной системе Ge-Ti-Ge после стационарного отжига плазмой дугового разряда
Bibliographic entry
Мычко, М. Е. Исследование тонкопленочной системе Ge-Ti-Ge после стационарного отжига плазмой дугового разряда / М. Е. Мычко, Е. Н. Щербакова // Новые направления развития приборостроения : материалы 6-й Международной студенческой научно-технической конференции, 24-26 апреля 2013 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2013. – С. 147.