Формирование легированных полупроводниковых слоев эпитаксией из газовой фазы
Bibliographic entry
Кабак, С. Н. Формирование легированных полупроводниковых слоев эпитаксией из газовой фазы / С. Н. Кабак, В. А. Сычик // Новые направления развития приборостроения : материалы 5-й Международной студенческой научно-технической конференции, 18-20 апреля 2012 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 162.