Технология получения рисунка ИС электронно-лучевой литографией
Bibliographic entry
Жолудь, А. В. Технология получения рисунка ИС электронно-лучевой литографией / А. В. Жолудь, В. А. Сычик // Новые направления развития приборостроения : материалы 5-й Международной студенческой научно-технической конференции, 18-20 апреля 2012 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 157.