Технология получения легированных слоев полупроводниковых структур термической диффузией
Bibliographic entry
Беззубин, М. В. Технология получения легированных слоев полупроводниковых структур термической диффузией / М. В. Беззубин, В. А. Сычик // Новые направления развития приборостроения : материалы 5-й Международной студенческой научно-технической конференции, 18-20 апреля 2012 г. / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 150.