Анализируется методика расчета вакуумных систем, которая включают: определение состава, количества и типа вакуумных насосов, определение размеров трубопроводов и расчет их проводимости в зависимости от геометрических размеров, выбор вакуумной запорной арматуры и приборов для контроля и измерений вакуумной среды.

В данной статье будут рассматриваться установки для химико- термической обработки – ионно-плазменного азотирования, которое происходит в вакуумных камерах с «горячими» или «холодными» стенками, а также будут рассмотрены экономические решения для уменьшения затрат на электроэнергию для двух типов камер.