Кремниевые МЭМС - микрофоны
Bibliographic entry
Турец, А. Я. Кремниевые МЭМС - микрофоны / А. Я. Турец, Т. А. Кузнецова // Новые направления развития приборостроения : материалы 8-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2015. – С. 181.