Технология изготовления алмазных и алмазоподобных пленок методом химического газофазного осаждения
Bibliographic entry
Васютченко, П. П. Технология изготовления алмазных и алмазоподобных пленок методом химического газофазного осаждения / П. П. Васютченко, А. В. Ковалевская // Новые направления развития приборостроения : материалы 8-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов / редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2015. – С. 152.