Оптические и электрофизические свойства тонких пленок ZnO с легирующими добавками ITO

Чумаков, А. Н.; Гулай, А. В.; Шевченок, А. А.; Баран, Л. В.; Кароза, А. Г.; Малютина-Бронская, В. В.; Гулай, В. А.; Босак, Н. А.

Authors

Малютина-Бронская, В. В.

Гулай, В. А.

Босак, Н. А.

Date

2017

Publisher

ВГТУ

Bibliographic entry

Оптические и электрофизические свойства тонких пленок ZnO с легирующими добавками ITO / А. Н. Чумаков [и др.] // Перспективные материалы и технологии : материалы международного симпозиума 22-26 мая 2017 : в 2 ч. / под ред. В. В. Рубаника. – Витебск : ВГТУ, 2017. — Ч. 1. — С. 94-96.

Abstract

Методом импульсного высокочастотного лазерного осаждения керамических мишений в вакууме получены тонкие пленки ZnO с легирующими добавками ITO для сенсорных структур. Представлены результаты исследований микроструктуры распыляемых керамических мишеней.