Оптические и электрофизические свойства тонких пленок ZnO с легирующими добавками ITO
Loading...
Files
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Abstract
Методом импульсного высокочастотного лазерного осаждения керамических мишений в вакууме получены тонкие пленки ZnO с легирующими добавками ITO для сенсорных структур. Представлены результаты исследований микроструктуры распыляемых керамических мишеней.
item.page.description-other
Description
Citation
Оптические и электрофизические свойства тонких пленок ZnO с легирующими добавками ITO / А. Н. Чумаков [и др.] // Перспективные материалы и технологии : материалы международного симпозиума 22-26 мая 2017 : в 2 ч. / под ред. В. В. Рубаника. – Витебск : ВГТУ, 2017. — Ч. 1. — С. 94-96.