Высокоэнергетический синтез наноструктурированных вакумно-плазменных TiN покрытий
Bibliographic entry
Иванов, И. А. Высокоэнергетический синтез наноструктурированных вакумно-плазменных TiN покрытий / И. А. Иванов, В. С. Нисс // Минск – Шанхай – Чанчунь: стратегия прорывного сотрудничества : сборник материалов научно-практической конференции (Минск, 21 апреля 2022 г.) / Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 133-135.
Abstract
Анализ научной проблемы повышения функциональных характеристик защитных вакуумно-плазменных покрытий на основе нитрида титана позволил обосновать возможность использования вакуумного дугового метода для нанесения покрытий типа Ti(Si, Me)-N. Представлена вакуумная установка Белорусского национального технического университета для реализации ряда процессов получения тонких защитных покрытий, изготовленная на предприятии ООО «ВакТайм». Определены допустимые режимы взаимодействия плазменного потока с поверхностью твердого тела, влияющие на генерационные характеристики дуговых испарительных устройств и управление плазменными потоками. Обсуждаются конструктивные решения изготовления катодного узла вакуумного дугового испарительного устройства.
Abstract in another language
对改善基于基于氮化钛的保护性真空等离子涂层的功能特性的科学 问题的分析证实使用真空电弧法来沉积 Ti(Si, Me)-N 型涂层的可能性。介绍了 由"VacTime"有限责任公司生产的白俄罗斯国立技术大学的真空装置，用于实 施获得薄保护涂层的多种工艺。确定了影响电弧蒸发装置和等离子体流量控制 的等离子体流与固体表面相互作用的允许模式。讨论了制造真空电弧蒸发器阴 极组件的设计。