Анализ научной проблемы повышения функциональных характеристик защитных вакуумно-плазменных покрытий на основе нитрида титана позволил обосновать возможность использования вакуумного дугового метода для нанесения покрытий типа Ti(Si, Me)-N. Представлена вакуумная установка Белорусского национального технического университета для реализации ряда процессов получения тонких защитных ...