Browsing 2022 by Title
Now showing items 98-98 of 98
-
面向芯片稀土纳米氧化铈化学机械抛光液的研发
(БНТУ, 2022)Отечественный раствор оксида церия для полировки обладает рядом проблем, таких как неравномерная форма абразивных частиц, серьезная агломерация, загрязнение ионами металлов и плохие характеристики полировки, что не может удовлетворить требования к полировке чипов. Ожидается, что путем разработки новой технологии изготовления полировального порошка и нового типа экологически чистой ...2022-08-02