Методы автоматического определения и стабилизации величины зазора зонд-образец в измерительной системе на основе зонда Кельвина
Loading...
Files
Authors
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Methods of automatic definition and stabilization of probe-to-sample gap in a Kelvin probe measurement system
Abstract
Определение величины зазора зонд-образец в измерительной системе на основе зонда Кельвина может осуществляться оптическими методами с использованием независимого волоконно-оптического датчика либо электрическими методами на основе анализа особенностей самого измерительного сигнала. Основным преимуществом электрических методов контроля зазора зонд-образец является независимость результатов измерений от оптических свойств контролируемой поверхности.
item.page.description-other
The probe-to-sample gap in a Kelvin probe-based measurement system could be determined either by optical methods using an independent fiber-optic sensor or by electrical methods based on an analysis of the pecularities of the measuring signal itself.. The main advantage of electrical methods is that the measurement signal is independent of the sample’s surface optical properties.
Description
Citation
Петлицкий, Н. Н. Методы автоматического определения и стабилизации величины зазора зонд-образец в измерительной системе на основе зонда Кельвина = Methods of automatic definition and stabilization of probe-to-sample gap in a Kelvin probe measurement system / Н. Н. Петлицкий, Н. И. Мухуров // Приборостроение-2021 : материалы 14-й Международной научно-технической конференции, 17-19 ноября 2021 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 134-136.