Измерение влажности в корпусах ИС с помощью анализатора МКМ-1
Another Title
Measuring of the water content in integrated circuit package by using MKM-1 analyzer
Bibliographic entry
Ширяева, В. Д. Измерение влажности в корпусах ИС с помощью анализатора МКМ-1 = Measuring of the water content in integrated circuit package by using MKM-1 analyzer / В. Д. Ширяева, Е. Н. Щербакова // Приборостроение-2021 : материалы 14-й Международной научно-технической конференции, 17-19 ноября 2021 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 374-376.
Abstract
Представлены результаты исследования содержания воды в корпусах интегральных схем Исследования производились с использованием масс-спектрометрического комплекса МКМ-1.
Abstract in another language
The results of the study of the water content in the housings of the integrated circuits are presented. The studies were carried out using the mass spectrometric complex MKM-1.