Browsing Приборостроение-2021 by Author "Ширяева, В. Д."
Now showing items 1-1 of 1
-
Измерение влажности в корпусах ИС с помощью анализатора МКМ-1
Ширяева, В. Д.; Щербакова, Е. Н. (БНТУ, 2021)Представлены результаты исследования содержания воды в корпусах интегральных схем Исследования производились с использованием масс-спектрометрического комплекса МКМ-1.2022-02-02