Browsing Приборостроение-2021 by Author "Пилипенко, В. А."
Now showing items 1-1 of 1
-
Способ формирования геттерирующего скрытого слоя
Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Тявловский, К. Л.; Шадурская, Л. И.; Пилипенко, В. А. (БНТУ, 2021)Рассмотрен способ формирования геттерирующего слоя в составе транзисторной структуры интегральной схемы. Для введения вольфрама в качестве геттерирующей примеси предлагается использовать метод газоразрядного легирования в режиме тлеющего разряда или интенсификацию процесса методом лазерного распыления материала мишени.2022-02-02