Browsing Приборостроение-2021 by Author "Мартинович, В. А."
Now showing items 1-1 of 1
-
Исследование сфераобразных наноструктур, сформированных в объеме пластин монокристаллического кремния
Францкевич, А. В.; Францкевич, Н. В.; Мартинович, В. А. (БНТУ, 2021)Основная идея представляемой работы – исследовать условия получения и свойства сфера образных наноструктур, формируемых в объеме пластин монокристаллического кремния. Стандартные пластины Cz-Si, n типа имплантировались ионами водорода при разных температурах и разными дозами. Формирование объемных наноструктур, происходило в результате обработки образцов в DC плазме водорода, при ...2022-02-02