Исследованы параметры пучков ионов меди в зависимости от режимов работы ионного источника и особенностей его конструкции. Измерения осуществляли с использованием ускорителя с анодным слоем, работающим в режиме ионно-пучкового фокуса, одиночного и многосеточного зондов. При измерениях плотности тока варьировались давление рабочего газа, ускоряющее напряжение на аноде Uа и расстояние ...