Дефектообразование на поверхности пластин монокристаллического кремния, имплантированных гелием и обработанных в плазме водорода
Loading...
Files
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Abstract
item.page.description-other
Description
Citation
Францкевич, Н. В. Дефектообразование на поверхности пластин монокристаллического кремния, имплантированных гелием и обработанных в плазме водорода / Н. В. Францкевич, А. В. Францкевич, В. А. Мартинович // Информационные технологии в технических и естественных науках [Электронный ресурс] : материалы Республиканской научно-практической конференции, 20 мая 2021 г. / редкол.: А. М. Авсиевич [и др.] ; сост. В. А. Мартинович. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 176-180.