Browsing 2021 by Author "Францкевич, Н. В."
Now showing items 1-1 of 1
-
Дефектообразование на поверхности пластин монокристаллического кремния, имплантированных гелием и обработанных в плазме водорода
Францкевич, Н. В.; Францкевич, А. В.; Мартинович, В. А. (БНТУ, 2021)Францкевич, Н. В. Дефектообразование на поверхности пластин монокристаллического кремния, имплантированных гелием и обработанных в плазме водорода / Н. В. Францкевич, А. В. Францкевич, В. А. Мартинович // Информационные технологии в технических и естественных науках [Электронный ресурс] : материалы Республиканской научно-практической конференции, 20 мая 2021 г. / редкол.: А. М. ...2021-12-07